机【jī】器人:目前公司已【yǐ】成功研发多款新型【xíng】双臂真空【kōng】机械手,部【bù】分产品已进入客户端验证阶段,预【yù】计【jì】未来将成为【wéi】公司半导体业务【wù】新的【de】增【zēng】长点

2024-9-21 16:28:00来源:同花顺iNews


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同花【huā】顺(300033)金融研究中【zhōng】心9-21讯【xùn】,有投资者向机器人(300024)提问, 董秘,您好!请问贵【guì】公【gōng】司有半导【dǎo】体设备【bèi】的【de】订单?请回复【fù】,谢【xiè】谢。

公司回答【dá】表示,您好,公司半导【dǎo】体【tǐ】装备业务产品主【zhǔ】要【yào】为自主研发的真空机械手及【jí】集【jí】束【shù】型设【shè】备,包括:大【dà】气机械手、真【zhēn】空机械手等系列【liè】产品、EFEM、真空传输【shū】平台,主要应【yīng】用在刻蚀、CVD、PVD、CMP、Descum、立式炉等【děng】工艺环节及领域,服【fú】务的【de】下游行业是半导体工艺设【shè】备厂商。2022年度,公司半【bàn】导体【tǐ】设备产业化应用初具规模【mó】,广泛服务于硅片生产、晶【jīng】圆加工、先进封装及封装【zhuāng】测试等半导体制造全产业【yè】链,为客【kè】户产【chǎn】业【yè】链及供应链【liàn】安【ān】全的稳定提供【gòng】多元保【bǎo】障,品【pǐn】牌【pái】效应显【xiǎn】现。真空机械手方面,两【liǎng】轴真空直驱机械手产品,已实现【xiàn】小批量、多【duō】批次应用【yòng】在客【kè】户端,公司【sī】目前【qián】已完成【chéng】13种【zhǒng】两轴真空直驱机械手平台的研发。三轴真空直驱机械手产品,处于【yú】客户端验【yàn】证阶【jiē】段,其结合全新控制器软硬件平台的应用,可支撑下游客户的长【zhǎng】期【qī】应用。四【sì】轴真空【kōng】直驱机【jī】械手产品处于研【yán】发阶段【duàn】。目前【qián】,公司已成功研发多款新【xīn】型双臂【bì】真【zhēn】空机械【xiè】手,部分产品已进入客【kè】户端验证阶段,预【yù】计未来将【jiāng】成【chéng】为公司半导体业务新的增【zēng】长点。2022年【nián】度,公司【sī】半导体装备业务【wù】实现收入2.44亿元。公司【sī】半导体装备业务的具体情况,请您查阅公【gōng】司《2022年年度【dù】报告》。

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